- Код статьи
- 10.31857/S0044457X24010059-1
- DOI
- 10.31857/S0044457X24010059
- Тип публикации
- Статья
- Статус публикации
- Опубликовано
- Авторы
- Том/ Выпуск
- Том 69 / Номер выпуска 1
- Страницы
- 43-48
- Аннотация
- Благодаря уникальным свойствам бескислородная керамика является перспективной для применения в различных отраслях техники. Включение металлов или их соединений в эту керамику существенно расширяет возможности ее применения, поэтому активно разрабатываются способы синтеза таких композитов. Одним из способов получения таких пленок является осаждение из газовой фазы. Термодинамическое моделирование позволяет подобрать условия для этого процесса. В работе проведено термодинамическое моделирование CVD-процесса в системе Ni–Si–C–H, где прекурсорами были никелоцен и силан. Результаты работы могут быть полезны для разработки способов получения пленочных материалов на основе SiC и никельсодержащих фаз.
- Ключевые слова
- термодинамическое моделирование система Ni–Si–C–H химическое осаждение из газовой фазы
- Дата публикации
- 17.09.2025
- Год выхода
- 2025
- Всего подписок
- 0
- Всего просмотров
- 10
Библиография
- 1. Шестаков А.М. // Тр. ВИАМ, 2021. Ч. 1. № 8 (102). C. 21. https://doi.org/10.18577/2307-6046-2021-0-8-21-33
- 2. Hye-Rim Jeong, Tae-Hwan Huh, Byung Hyo Kim, Young-Je Kwark // Ceram. Int. 2022. V. 48. № 12. P. 16576. https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.02.202
- 3. Idesaki A., Colombo P. // Adv. Eng. Mater. 2012. V. 14. P. 1116. https://doi.org/10.1002/adem.201100354.
- 4. Friebe L., Liu K., Obermeier B., Petrov S. et al. // Chem. Mater. 2007. V. 19. P. 2630. https://doi.org/10.1021/cm062470j
- 5. Bazarjani M.S., Kleebe H.-J., Müller M.M. et al. // Chem. Mater. 2011. V. 23. Р. 4112. https://doi.org/10.1021/cm200589n
- 6. Liu Y., Feng Y., Gong H. et al. // J. Alloys Compd. 2018. V. 749. P. 620. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2018.03.346
- 7. Станкевич Е.В., Тявловская Е.А. // Журн. прикл. спектроскопии. 2010. Т. 77. № 5. С. 737.
- 8. Fanping Meng, Bo Wang, Fangfang Ge, Feng Huang // Surf. Coat. Technol. 2012. V. 213. P. 77. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2012.10.020
- 9. Asakuma N., Tada S., Kawaguchi E. et al. // Nanomater. 2022. V. 12. P. 1644. https://doi.org/10.3390/nano12101644
- 10. Yu Liu, Xiao Lin, Hongyu Gong et al. // J. Alloys Compd. 2019. V. 771. P. 356. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2018.08.283
- 11. Yu Liu, Xiao Lin, Hongyu Gong et al. // J. Alloys Compd. 2018. V. 749. P. 620. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2018.03.346
- 12. Hahn G., Ewert J.-K., Denner C. et al. // Chem. Cat. Chem. 2016. V. 8. P. 2461. http://dx.doi.org/10.1002/cctc.201600391
- 13. Xiaofei Zhang, Lixin Chen, Lala Meng. et al. // Ceram. Int. 2014. V. 40. P. 6937. https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2013.12.017
- 14. Friebe L., Liu K., Obermeier B. et al. // Chem. Mater. 2007. V. 19. P. 2630. https://doi.org/10.1021/cm062470j
- 15. Sheikh Aamir Farooq, Ankush Raina, Sanjay Mohan. et al. // Nanomater. 2022. V. 12. P. 1323. https://doi.org/10.3390/nano12081323
- 16. Sheikh Aamir Farooq, Ankush Raina, Sanjay Mohan et al. // Nanomater. 2022. V. 12. P. 1323. https://doi.org/10.3390/nano12081323
- 17. Hwang Seong-Don, Remmes N.B., Dowben P.A., McIlroy D.N. // J. Vac. Sci. Technol. 1996. V. B14. P. 2957. https://doi.org/10.1116/1.588942
- 18. Fanping Meng, Bo Wang, Fangfang Ge, Feng Huang // Surf. Coat. Technol. 2012. V. 213. P. 77. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2012.10.020
- 19. Шестаков В.А., Косяков В.И., Косинова М.Л. // Журн. неорган. химии. 2020. Т. 65. C. 829. [Shestakov V.A., Kosyakov V.I., Kosinova M.L. // Russ. J. Inorg. Chem. 2020. V. 65. P. 898. https://doi.org/10.7868/S0044457X1806017X]
- 20. Шестаков В.А., Косинова М.Л. // Изв. АН. Сер. хим. 2021. № 2. С. 283. [Shestakov V.A., Kosinova M.L. // Russ. Chem. Bull., Int. Ed. 2021. V. 70. № 2. P. 283. https://doi.org/10.1007/s11172-021-3083-9]
- 21. Шестаков В.А., Косинова М.Л. // Журн. неорган. химии. 2021. Т. 66. № 11. С. 1585. [Shestakov V.A., Kosinova M.L. // Russ. J. Inorg. Chem. 2021. V. 66. P. 1703. https://doi.org/10.31857/S0044457X21110155]
- 22. Шестаков В.А., Яковкина Л.В., Кичай В.Н. // Журн. неорг. химии. 2022. Т. 67. № 12. С. 1746. https://doi.org/10.31857/S0044457X22600608 [Shestakov V.A., Yakovkina L.V., Kichay V.N. // Russ. J. Inorg. Chem. 2022. V. 67. № 12. P. 1956. https://doi.org/10.1134/S0036023622601179]
- 23. Кузнецов Ф.А., Буждан Я.М., Коковин Г.А. // Изв. СО АН СССР. Сер. хим. наук. 1975. № 2. Вып. 1. С. 24.
- 24. Kuznetsov F.A., Titov V.A. Proc. Int. Symp. on Advanced Materials. September 24–30. Jpn., 1995. P. 16.
- 25. Термодинамические свойства индивидуальных веществ / Под ред. Глушко В.П. и др. М.: Наука, 1988. Т. 3. Кн. 2. 395 с.
- 26. Barin I. Termodynamical data of pure substances. N.Y., 1989. 1739 p.
