By this author

Thermodynamic Modeling and Experimental Implementation of the Synthesis of Vanadium Oxide Films

Issue number 5 from 01.05.2023

Проведено термодинамическое моделирование и экспериментальное исследование процесса синтеза пленок оксидов ванадия при разных температурах из прекурсора тетракис-этилметиламинованадий V[NC₃H₈]₄ в присутствии кислорода и атмосфере аргона. При термодинамическом моделировании использовали метод расчета химических равновесий, основанный на минимизации энергии Гиббса системы. В экспериментальной части работы для синтеза пленок применяли методику атомно-слоевого осаждения. Результаты термодинамического моделирования и экспериментальные данные соответствуют друг другу и могут быть использованы для разработки методик синтеза пленочных покрытий на основе оксидов ванадия.

48 0

Thermodynamic simulation of the CVD process in the system Ni–Si–C–H

Issue number 1 from 15.01.2024

Благодаря уникальным свойствам бескислородная керамика является перспективной для применения в различных отраслях техники. Включение металлов или их соединений в эту керамику существенно расширяет возможности ее применения, поэтому активно разрабатываются способы синтеза таких композитов. Одним из способов получения таких пленок является осаждение из газовой фазы. Термодинамическое моделирование позволяет подобрать условия для этого процесса. В работе проведено термодинамическое моделирование CVD-процесса в системе Ni–Si–C–H, где прекурсорами были никелоцен и силан. Результаты работы могут быть полезны для разработки способов получения пленочных материалов на основе SiC и никельсодержащих фаз.

48 0

THERMODYNAMIC MODELING OF PHASE FORMATION CONDITIONS IN THE Si-O-C-H–He AND Si-O-C–H–N–He SYSTEMS

Issue number 4 from 15.04.2025

Проведено термодинамическое моделирование процесса синтеза пленок из газовой фазы в системах Si–O–C–H–He и Si–O–C–H–N–He при разложении гексаметилдисилоксана. Показано, что в CVD-процессах таких систем могут быть получены различные фазовые комплексы, содержащие оксид, карбид и нитрид кремния.

52 0