By this author

Thermodynamic Characterization of Volatile Alkylamine Boranes as Precursors for the Formation of BCxNy Films

Issue number 2 from 17.09.2025

В результате тензиметрических исследований установлены температурные зависимости давления насыщенного пара и рассчитаны термодинамические характеристики процессов парообразования алкиламинборанов R₃N · BH₃ (R = Me, Et). Данные соединения обладают достаточной летучестью и термической устойчивостью для применения в качестве исходных веществ в процессах газофазного осаждения для получения пленок на основе фаз системы B–C–N. Триэтиламинборан использовали для синтеза пленок карбонитрида бора при температурах 773 и 873 K. Свойства полученных слоев изучены методами эллипсометрии, атомно-силовой и сканирующей электронной микроскопии, ИК-, КР- и энергодисперсионной спектроскопии. Определены условия получения сплошных однородных пленок, состоящих из наночастиц размером 20–60 нм, агрегированных в более крупные образования псевдогексагональной формы. Поверхность пленок имеет среднеарифметическую и среднеквадратичную шероховатость, равную 0.8 и 1.0 нм соответственно.

10 0