Статьи автора

Термодинамическое исследование летучего комплекса бензоилтрифторацетоната магния с N,N,N',N'-тетраметилэтилендиамином

Номер выпуска 2 от 17.09.2025

Для расширения библиотеки летучих прекурсоров магния, аттестованных для эффективного применения в химических газофазных процессах осаждения соответствующих оксидных или фторидных слоев, проведено термодинамическое исследование разнолигандного комплекса Mg(tmeda)(btfac)₂ (tmeda = N,N,N',N'-тетраметилэтилендиамин, btfac = бензоилтрифторацетонат). Процесс плавления изучен с помощью ДСК (Т_пл = 459.4 ± 0.3 K, \({{\Delta }_{{{\text{{п}{л}}}}}}H_{{459.4}}^{^\circ }\) = 42.9 ± 0.4 кДж/моль), процесс сублимации – с помощью метода потока (переноса) в интервале температур 407–447 K (\({{\Delta }_{{{\text{{с}{у}{б}{л}}}}}}H_{{427}}^{^\circ }\) = 163 ± ± 6 кДж/моль, Δ_сублS₄₂₇ = 293 ± 14 Дж/(моль K)). Вещество переходит в газовую фазу с частичным разложением. Проведено термодинамическое моделирование состава конденсированных фаз, образующихся из Mg(tmeda)(btfac)₂ с добавлением H₂ или O₂, в зависимости от температуры (700–1300 K), общего давления (133–13332 Па) и отношения газа-реагента к прекурсору (0–300). Полученные данные могут быть использованы для определения экспериментальных параметров процессов получения функциональных слоев. Сравнение результатов с аналогичным трифторацетилацетонатным комплексом позволило количественно выявить эффект замены метильной группы в анионном лиганде на фенильную.

9 0