By this author

CVD Synthesis of Graphitic Carbon Nitride Films from Melamine

Issue number 2 from 17.09.2025

Разработана CVD-методика осаждения однородных пленок графитоподобного нитрида углерода на подложках из кремния и кварцевого стекла с использованием меламина в качестве прекурсора. Послойное нанесение при малых загрузках прекурсора позволяет осадить пленку толщиной до 1.4 мкм, однако существует возможность достичь больших величин за счет многократного повторения экспериментального цикла. Методом сканирующей электронной микроскопии исследовано влияние параметров синтеза на морфологию поверхности осаждаемых слоев. Химический состав и строение пленок графитоподобного нитрида углерода подтверждены набором спектроскопических методов и рентгеновской дифракцией. Оптические свойства исследованы с применением спектроскопии диффузного отражения. Методами сканирующей электронной микроскопии и рентгенофазового анализа показано, что пленки, осажденные при температурах 550–650°C, обладают слоистой микрокристаллической структурой. Ширина запрещенной зоны полученных образцов составила 2.76–2.93 эВ.

7 0