Статьи автора

ПОЛУЧЕНИЕ МЕТОДОМ AACVD ДВУХСЛОЙНЫХ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ НАНОКОМПОЗИТОВ ZnO/CrO ДЛЯ ХЕМОРЕЗИСТИВНЫХ ГАЗОВЫХ СЕНСОРОВ

Номер выпуска 4 от 05.12.2024

С использованием аэрозольного осаждения из газовой фазы получены двухслойные тонкопленочные нанокомпозиты ZnO/CrO. С помощью EDX-анализа показано, что содержание CrO составляет 4,4, 5,5 и 6.2 мол. % для образцов Z1Cr, Z2Cr и Z5Cr соответственно. По данным РФА и КР-спектроскопии установлено образование гексагональной фазы вюрцита оксида цинка и тригональной фазы корунда оксида хрома. Методом сканирующей электронной микроскопии показано, что на поверхности пленки оксида цинка округлой формы диаметром 33 ± 9 нм локализованы наночастицы оксида хрома вытянутой формы длиной 67 ± 13 нм и шириной 31 ± 5 нм. При низких концентрациях ацетилацетоната хрома образуется островковая структура, а при увеличении концентрации происходит увеличение сплошности покрытия. Изучение хеморезистивных свойств показало, что для всех полученных образцов наблюдается отклик p-типа с наибольшей чувствительностью к ацетону.

0