By this author

THERMODYNAMIC MODELING OF PHASE FORMATION CONDITIONS IN THE Si-O-C-H–He AND Si-O-C–H–N–He SYSTEMS

Issue number 4 from 06.12.2024

Проведено термодинамическое моделирование процесса синтеза пленок из газовой фазы в системах Si–O–C–H–He и Si–O–C–H–N–He при разложении гексаметилдисилоксана. Показано, что в CVD-процессах таких систем могут быть получены различные фазовые комплексы, содержащие оксид, карбид и нитрид кремния.

1 0