Статьи автора

ТЕРМОДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ УСЛОВИЙ ФАЗООБРАЗОВАНИЯ В СИСТЕМАХ Si–O–C–H–He И Si–O–C–H–N–He

Номер выпуска 4 от 06.12.2024

Проведено термодинамическое моделирование процесса синтеза пленок из газовой фазы в системах Si–O–C–H–He и Si–O–C–H–N–He при разложении гексаметилдисилоксана. Показано, что в CVD-процессах таких систем могут быть получены различные фазовые комплексы, содержащие оксид, карбид и нитрид кремния.

0