Статьи автора

АТОМНО-СЛОЕВОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК AlMoO С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТРИХЛОРИДА АЛЮМИНИЯ ИЛИ ТРИМЕТИЛАЛЮМИНИЯ И КВАНТОВО-ХИМИЧЕСКИЕ РАСЧЕТЫ ПРОЦЕССОВ РОСТА, ВОССТАНОВЛЕНИЯ И КОНВЕРСИИ

Номер выпуска 10 от 01.10.2025

Проведен сравнительный анализ поверхностных процессов атомно-словеого осаждения (АСО) AlMoO с использованием воды, диоксидихлорида молибдена (MoOCl), триметилалюминия (Al(CH), ТМА) или хлорида алюминия (AlCl). Изучено влияние природы алюминиевого прекурсора на состав и степень окисления молибдена в пленках. Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии установлено, что содержание молибдена в полученных пленках ниже содержания алюминия. Также в пленках обнаружен молибден со степенями окисления Mo, Mo и Mo; при этом соотношение атомной концентрации Mo к восстановленным формам в случае процесса с ТМА составило 0.76 : 1, а в случае с AlCl — 6.3 : 1. Замена ТМА на AlCl3 в процессе АСО AlMoO снизило количество восстановленного Mo в пленках, а также общее содержание молибдена. Для оценки термодинамических параметров предложенных реакций для процессов АСО с использованием AlCl и ТМА выполнены квантово-химические расчеты методом DFT, на основе полученных данных предложено объяснение наблюдаемым различиям в пленках.

75 0