By this author

SYNTHESIS OF TITANIUM OXIDE COATINGS BY ATOMIC LAYER DEPOSITION ON THE SURFACE OF POLYCRYSTALLINE α-AlO PLATES WITH VARYING MORPHOLOGY

Issue number 10 from 01.10.2025

Исследовано влияние различий в шероховатости поверхности (160 и 45 нм) поликристаллических пластин α-AlO на состав, структуру и свойства формирующихся на ней в процессе химической сборки методом молекулярного наслаивания титаноскидных покрытий путем попеременной обработки подложки парами тетрахлорида титана и воды заданное число раз (до 600). По результатам рентгенофлуоресцентного анализа и сканирующей электронной микроскопии установлено, что концентрация титана больше в образцах с более высокой исходной шероховатостью поверхности. Согласно данным электронной спектроскопии диффузного отражения, координационное состояние титана в оксидных покрытиях соответствует алюмотитантным тетраэдрическим и анатазоподобным структурам, соотношение между которыми зависит как от толщины покрытия, так и от шероховатости поверхности подложки. С применением атомно-силовой микроскопии показано, что увеличение шероховатости подложки приводит к формированию слоев, состоящих из более крупных частиц. При этом с увеличением толщины покрытия возрастает его шероховатость и повышается газочувствительность по отношению к кислороду в составе датчиков на его основе.

71 0