By this author

Growth characteristics, phase composition and optical properties of Ti–Sc–O thin films synthesized by atomic layer deposition

Issue number 9 from 01.09.2025

Тонкие пленки Ti–Sc–O синтезированы при 300°C методом атомно-слоевого осаждения (АСО) посредством чередования циклов с реагентами TiCl, Sc(MeСp) и HO. Путем варьирования соотношения циклов получены материалы с отношением [Sc]/([Ti] + [Sc]) = 13, 25, 44, 64, 82%. Пленки охарактеризованы методами эллипсометрии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, сканирующей электронной микроскопии и рентгеновской дифракции. Рост пленок реализуется в пределах “температурного окна” АСО и является поверхностно-ингибированным. Подтверждено преобладание состояний Ti и Sc в составе оксидных материалов. Низкие концентрации Sc (до [Sc]/([Ti] + [Sc]) = 25%) подавляют формирование фазы анатаза, наблюдаемой для индивидуального TiO. В диапазоне [Sc]/([Ti] + [Sc]) = 44–100% образуются материалы с кубической решеткой: с увеличением содержания скандия происходит переход от разупорядоченного флюорита ScTiO к твердому раствору на основе кубического ScO. Показатель преломления (), коэффициент поглощения () и ширина запрещенной зоны пленок Ti–Sc–O хорошо описываются в рамках модели с резким краем поглощения и варьируют между характеристиками TiO и ScO в зависимости от состава, что актуально для прикладных задач оптики, фотоники, солнечной энергетики и фотокатализа.

39 0