- Код статьи
- 10.31857/S0044457X25040092-1
- DOI
- 10.31857/S0044457X25040092
- Тип публикации
- Статья
- Статус публикации
- Опубликовано
- Авторы
- Том/ Выпуск
- Том 70 / Номер выпуска 4
- Страницы
- 560-565
- Аннотация
- Проведено термодинамическое моделирование процесса синтеза пленок из газовой фазы в системах Si–O–C–H–He и Si–O–C–H–N–He при разложении гексаметилдисилоксана. Показано, что в CVD-процессах таких систем могут быть получены различные фазовые комплексы, содержащие оксид, карбид и нитрид кремния.
- Ключевые слова
- термодинамическое моделирование химическое осаждение из газовой фазы тонкие пленки
- Дата публикации
- 06.12.2024
- Год выхода
- 2024
- Всего подписок
- 0
- Всего просмотров
- 1
Библиография
- 1. Stabler C., Ionescu E., Graczyk-Zajac M. et al. // J. Am. Ceram. Soc. 2018. V. 101. P. 4817. https://doi.org/10.1111/jace.15932
- 2. Colombo P., Mera G., Riedel R. et al. // J. Am. Ceram. Soc. 2010. V. 93. P. 1805. https://doi.org/10.1111/j.1551-2916.2010.03876.x
- 3. Riedel R., Mera G., Hauser R. et al. // J. Ceram. Soc. Jpn. 2006. V. 114. P. 425. http://dx.doi.org/10.2109/jcersj.114.425
- 4. Linck C., Ionescu E., Papendorf B. et al. // Int. J. Mater. Res. 2012. V. 103. P. 31. https://doi.org/10.3139/146.110625
- 5. Rosenburg F., Balke B., Nicoloso N. et al. // Molecules. 2020. V. 25. P. 5919. https://doi:10.3390/molecules25245919
- 6. Roth F., Schmerbauch C., Ionescu E. et al. // J. Sens. Sens. Syst. 2015. V. 4. P. 133. https://doi.org/10.5194/jsss-4-133-2015
- 7. Liu J., Tian C., Jiang T. et al. // J. Eur. Ceram. Soc. 2023. V. 43. P. 3191. https://doi.org/10.1016/j.jeurceramsoc.2023.02.045
- 8. Xia K., Liu X., Liu H. et al. // Electrochim. Acta. 2021. V. 372. 137899.
- 9. Majib S.B., Cuccato R., Mukherjee S. et al. // Ceram. Int. 2020. V. 46. P. 3565. https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2019.10.074
- 10. Graczyk-Zajac M., Reinold L.M., Kaspar J. et al. // Nanomaterials. 2015. V. 5. P. 233. https://doi.org/10.3390/nano5010233
- 11. Tang H., Wang K., Ren K. et al. // Ceram. Inter. 2023. V. 49. P. 20406. https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2023.03.169
- 12. Dong B.-B., Wang F.-H., Yang M.-Y. et al. // J. Membr. Sci. 2019. V. 579. P. 111. https://doi.org/10.1016/j.memsci.2019.02.066
- 13. Zhuo R., Colombo P., Pantano C., Yogler E.A. // Acta Biomater. 2005. V. 1. P. 583. https://doi.org/10.1016/j.actbio.2005.05.005
- 14. Arango-Ospina M., Xie F., Gonzalo-Juan I. et al. // Appl. Mater. Today. 2020. V. 18. 100482. https://doi.org/10.1016/j.apmt.2019.100482
- 15. Liu H., ul Haq Tariq N., Han R. et al. // J. Non-Cryst. Solids. 2022. V. 575. P. 121204. https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2021.121204
- 16. Iastenski M.F., da Silva P.R.C., Tarley C.R.T., Segatelli M.G. // Ceram. Int. 2019. V. 45. P. 21698. https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2019.07.170
- 17. Wen Q., Yu Z., Riedel R. // Prog. Mater. Sci. 2020. V. 109. P. 100623. https://doi.org/10.1016/j.pmatsci.2019.100623
- 18. Widgeon S.J., Sen S., Mera G. et al. // Chem. Mater. 2010. V. 22. P. 6221. https://doi.org/10.1021/cm1021432
- 19. Breval E., Hammond M., Pantano C.G. // J. Am. Ceram. Soc. 1994. V. 77. P. 3012. https://doi.org/10.1111/j.1151-2916.1994.tb04538.x
- 20. Lu K., Erb D. // Int. Mater. Rev. 2018. V. 63. P. 139. https://doi.org/10.1080/09506608.2017.1322247
- 21. Tian Z., Zhu W., Yan X., Su D. // Materials. 2022. V. 15. P. 6395. https://doi.org/10.3390/ma15186395
- 22. Ricohermoso E.III, Klug F., Schlaak H. et al. // Int. J. Appl. Ceram. Technol. 2022. V. 19. P. 149. https://doi.org/10.1111/ijac.13800
- 23. Ricohermoso E.III, Klug F., Schlaak H. et al. // J. Eur. Ceram. Soc. 2021. V. 41. P. 6377. https://doi.org/10.1016/j.jeurceramsoc.2021.07.001
- 24. Soraru G.D., D’Andrea G., Campostrini R. et al. // J. Am. Ceram. Soc. 1995. V. 78. P. 379. https://doi.org/10.1111/j.1151-2916.1995.tb08811.x
- 25. Ryan J.V., Colombo P., Howell J.A., Pantano C.G. // Int. J. Appl. Ceram. Technol. 2010. V. 7. P. 675. https://doi.org/10.1111/j.1744-7402.2009.02374.x
- 26. Mandracci P., Rivolo P. // Coatings. 2023. V. 13. P. 1075. https://doi.org/10.3390/coatings13061075
- 27. Hong N., Zhang Y., Sun Q. et al. // Materials. 2021. V. 14. P. 4827. https://doi.org/10.3390/ma14174827
- 28. de Freitas A.S.M., Maciel C.C., Rodrigues J.S. et al. // Vacuum. 2021. V. 194. P. 110556. https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2021.110556
- 29. Gilman A.B., Zinoviev A.V., Kuznetsov A.A. // High Energy Chem. 2022. V. 56. P. 468. https://doi.org/10.1134/S0018143922060078
- 30. Balderas I.E.G., Ruiz C.M., Andres E.R. et al. // Int. J. Appl. Ceram. Technol. 2024. V. 21. P. 3319. https://doi.org/10.1111/ijac.14796
- 31. Yu S., Tu R., Ito A., Goto T. // Mater. Lett. 2010. V. 64. P. 2151. https://doi.org/10.1016/j.matlet.2010.07.022
- 32. Yu S., Tu R., Goto T. // J. Eur. Ceram. Soc. 2016. V. 36. P. 403. http://dx.doi.org/10.1016/j.jeurceramsoc.2015.10.029
- 33. Jacobson N.S., Opila E.J. // Metall. Trans. A. 1993. V. 24. P. 1212. https://doi.org/10.1007/BF02657254
- 34. Sevastyanov V.G., Ezhov Yu.S., Simonenko E.P., Kuznetsov N.T. Materials Science Trans. Forum. Tech. Publications, Switzerland. 2004. V. 457–460. P. 59. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF457-460.59
- 35. Лебедев А.С., Еремишев В.Е., Трофимов Е.А., Лифнасова В.Н. // Докл. АН. 2019. T. 484. № 5. С. 559. https://doi.org/10.1134/S0012500819020046
- 36. Шестаков В.А., Косаков В.И., Косинова М.Л. // Изв. АН. Сер. хим. 2019. T. 11. С. 1983. https://doi.org/1066-5285/19/6811-1983
- 37. Шестаков В.А., Селезнев В.А., Мутишин С.В. и др. // Журн. неорган. химии. 2023. T. 68. № 5. С. 651. https://doi.org/10.1134/S0036023623600491
- 38. Шестаков В.А., Косинов М.Л. // Журн. неорган. химии. 2024. T. 64. № 1. С. 43. https://doi.org/10.31857/S0044457X24010059
- 39. Shestakov V.A., Kosimova M.L. // Russ. J. Phys. Chem. A. 2024. V. 98. № 9. P. 2007. https://doi.org/10.1134/S0036024424701140
- 40. Суляев В.С., Шестаков В.А., Румянцев Ю.М., Косинов М.Л. // Неорган. материалы. 2018. T. 54. № 2. С. 146. https://doi.org/10.1134/S0020168518020152
- 41. Шестаков В.А., Яковкина Л.В., Кичай В.Н. // Журн. неорган. химии. 2022. T. 67. № 12. С. 1746. https://doi.org/10.31857/S0044457X22600608
- 42. Kuznetsov F.A., Buzhdin Ya.M., Kokovich G.A. // Изв. СО АН СССР. Сер. хим. наук. 1975. № 2. № 1. С. 24.
- 43. Kuznetsov F.A., Titov V.A. Proc. Int. Symp. on Advanced Materials (September 24–30, 1995). Jpn., P. 16.
- 44. Термодинамические свойства индивидуальных веществ. / Под ред. Глушко В.П. и др. М.: Наука, 1988. T. 3. Кн. 2. 395 с.