- Код статьи
- 10.31857/S0044457X24030046-1
- DOI
- 10.31857/S0044457X24030046
- Тип публикации
- Статья
- Статус публикации
- Опубликовано
- Авторы
- Том/ Выпуск
- Том 69 / Номер выпуска 3
- Страницы
- 294-310
- Аннотация
- Представлено современное состояние исследований, которые проводятся в рамках ведущей научной школы В.Б. Алесковского “Химия высокоорганизованных веществ”, включающее как новые фундаментальные и прикладные результаты по синтезу методом молекулярного наслаивания инновационных твердофазных материалов и наиболее перспективным направлениям реализации их в промышленности, так и достижения по разработке аппаратурно-технологического оформления процесса молекулярного наслаивания.
- Ключевые слова
- химия высокоорганизованных веществ молекулярное наслаивание фундаментальные и прикладные исследования неорганические наноразмерные покрытия структурно-размерные эффекты неорганические материалы установки молекулярного наслаивания
- Дата публикации
- 17.09.2025
- Год выхода
- 2025
- Всего подписок
- 0
- Всего просмотров
- 12
Библиография
- 1. Устюжанина Е.В., Евсюков С.Г., Петров А.Г. и др. Научная школа как структурная единица научной деятельности. М.: ЦЭМИ РАН, 2011. 73 с.
- 2. Алесковский В.Б. Остовная гипотеза и опыт приготовления некоторых активных твердых тел. Дис. … д-ра хим. наук. Л., 1952. 374 с.
- 3. Алесковский В.Б., Кольцов С.И. // НТК ЛТИ им. Ленсовета. Л.: ЛТИ им. Ленсовета, 1965. С. 67.
- 4. Кольцов С.И. Синтез твердых веществ методом молекулярного наслаивания. Дис. … д-ра хим. наук. Л., 1971. 383 с.
- 5. Hanke W.V., Bienert R., Jerschkewitz H.-G. // Z. Anorg. Allg. Chem. 1975. V. 414. № 2. P. 109. https://doi.org/10.1002/zaac.19754140203
- 6. Damyanov D., Mekhandzhiev D. // Изв. химия Бълг. АН. 1976. Т. 9. № 2. С. 294.
- 7. Ольман Г. // Изв. химия Бълг. АН. 1980. Т. 18. № 1. С. 48.
- 8. Suntola T., Pakkala A., Lindfors S. Pat. FI 57975 C. Publ. 10.11.1980. Menetelmä ja laite yhdisteohutkalvojen kasvatuksessa - Förfarande och anordning vid uppbyggande av tuna föreingshinnor.
- 9. Айдла A.K., Таммак A.-A.А. // Ученые записки Тартусского ун-та. Тарту, 1983. Вып. 655. С. 120.
- 10. Öhlmannd G. // Z. Chem. 1984. V. 24. № 5. P. 161. https://doi.org/10.1002/zfch.19840240502
- 11. Multia J., Karppinen M. // Adv. Mater. Interfaces. 2022. V. 9. № 15. P. 2200210. https://doi.org/10.1002/admi.202200210
- 12. Нанотехнология в ближайшем десятилетии: Прогноз направления исследований / Под ред. Роко М.К., Уильямса Р.С., Аливисатоса П. М.: Мир, 2002. 291 с.
- 13. Aarik J., Aav J., Ahvenniemi E. et al. // EuroCVD 22 - Baltic ALD 16 Conf. June 24–28, 2019. Luxembourg, 2019. P. 1.
- 14. Малыгин А.А. Теоретические и экспериментальные основы технологии модифицирования поверхности дисперсных и пористых материалов методом молекулярного наслаивания. Дис. ... д-ра хим. наук. Л., 1991. 413 с.
- 15. Малыгин А.А., Малков А.А., Соснов Е.А. // Изв. АН. Сер. хим. 2017. № 11. С. 1939.
- 16. Кольцов С.И., Малыгин А.А., Малков А.А., Соснов Е.А. Фундаментальные и прикладные основы нанотехнологии молекулярного наслаивания. СПб.: СПбГТИ(ТУ), 2021. 279 с.
- 17. Malygin A.A., Drozd V.E., Malkov A.A., Smirnov V.M. // Chem. Vap. Deposition. 2015. V. 21. № 10–12. P. 216. https://doi.org/10.1002/cvde.201502013
- 18. Ahvenniemi E., Akbashev A.R., Ali S. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2017. V. 35. № 1. P. 010801. https://doi.org/10.1116/1.4971389
- 19. Соснов Е.А., Малков А.А., Малыгин А.А. // Журн. прикл. химии. 2021. Т. 94. № 8. С. 967. https://doi.org/10.31857/S0044461821080028
- 20. Дроздов Е.О., Дубровенский С.Д., Малыгин А.А. // Журн. общей химии. 2020. Т. 90. № 5. С. 795. https://doi.org/10.31857/S0044460X20050212
- 21. Drozdov E.O., Buzina D.V., Malkov A.A., Malygin A.A. // Russ. J. Gen. Chem. 2022. V. 92. № 12. P. 2870. https://doi.org/10.1134/S1070363222120398
- 22. Drozdov E.O., Dubrovenskii S.D. // New Materials: Preparation, Properties and Applications in the Aspect of Nanotechnology / Eds. Syrkov A.G., Levine K.L. N.Y.: Nova Science Publishers, 2020. P. 65.
- 23. Фадеев А.В., Руденко К.В. // Журн. тех. физики. 2018. Т. 88. № 8. С. 1264. https://doi.org/10.21883/JTF.2018.08.46319.2625
- 24. Анисимов К.С., Малков А.А., Малыгин А.А. // Журн. общей химии. 2014. Т. 84. № 12. С. 1954.
- 25. Bodalyov I.S., Malkov A.A., Maslennikova T.P. et al. // Mater. Today Chem. 2019. V. 11. P. 156. https://doi.org/10.1016/j.mtchem.2018.10.013
- 26. Sosnov E.A., Malkov A.A. // Chemisorption: Properties, Reactions and Uses / Ed. Norup M. NY: Nova Science Publishers, 2019. P. 29.
- 27. Malkov A.A., Sosnov E.A., Malygin A.A. // Adv. Materials Sci. Res. 2022. V. 55. P. 1.
- 28. Малков А.А., Кукушкина Ю.А., Соснов Е.А., Малыгин А.А. // Неорган. материалы. 2020. Т. 56. № 12. С. 1303. https://doi.org/10.31857/S0002337X2012012X
- 29. Малков А.А., Васильева К.Л., Альмяшева О.В., Малыгин А.А. // Журн. общей химии. 2016. Т. 86. № 5. С. 736.
- 30. Малков А.А., Чернякова Н.В., Числов М.В., Малыгин А.А. // Журн. прикл. химии. 2017. Т. 90. № 5. С. 545.
- 31. Абдулагатов А.И., Оруджев Ф.Ф., Рабаданов М.Х., Абдулагатов И.М. // Журн. прикл. химии. 2016. Т. 89. № 8. С. 1015.
- 32. Ежовский Ю.К., Михайловский С.В. // Микроэлектроника. 2022. Т. 51. № 2. С. 110. https://doi.org/10.31857/S0544126922020053
- 33. Ежовский Ю.К. // Микроэлектроника. 2019. Т. 48. № 2. С. 106. https://doi.org/10.1134/S0544126919020030
- 34. Малыгин А.А., Антипов В.В., Кочеткова А.С., Буймистрюк Г.Я. // Журн. прикл. химии. 2018. Т. 91. № 1. С. 17.
- 35. Ежовский Ю.К. // Журн. физ. химии. 2014. Т. 88. № 9. С. 1413. https://doi.org/10.7868/S0044453714090155
- 36. Ежовский Ю.К., Захарова Н.В. // Микроэлектроника. 2016. Т. 45. № 1. С. 21. https://doi.org/10.7868/S054412691601004X
- 37. Ежовский Ю.К., Михайловский С.В. // Журн. физ. химии. 2018. Т. 92. № 3. С. 439. https://doi.org/10.7868/S004445371803007X
- 38. Ежовский Ю.К., Михайловский С.В. // Микроэлектроника. 2019. Т. 48. № 4. С. 272. https://doi.org/10.1134/S0544126919030049
- 39. Абдулагатов А.И., Рабаданов М.Х., Абдулагатов И.М. // Микроэлектроника. 2020. Т. 49. № 6. С. 413. https://doi.org/10.31857/S0544126920050026
- 40. Абдулагатов А.И., Рамазанов Ш.М., Даллаев Р.С. и др. // Микроэлектроника. 2018. Т. 47. № 2. С. 131. https://doi.org/10.7868/S0544126918020059
- 41. Абдулагатов А.И., Амашаев Р.Р., Ашурбекова К.Н. и др. // Журн. общей химии. 2018. Т. 88. № 8. С. 1381. https://doi.org/10.1134/S0044460X18080231
- 42. Земцова Е.Г., Морозов П.Е., Семенов Б.Н. и др. // Журн. общей химии. 2019. Т. 89. № 1. С. 162. https://doi.org/10.1134/S0044460X1901027X
- 43. Кочеткова А.С., Семенова В.А., Соснов Е.А., Малыгин А.А. // Журн. прикл. химии. 2020. Т. 93. № 8. С. 1150. https://doi.org/10.31857/S0044461820080113
- 44. Радюк Е.А., Соснов Е.А., Малыгин А.А. и др. // Журн. прикл. химии. 2019. Т. 92. № 8. С. 1036. https://doi.org/1134/S0044461819080115
- 45. Абдулагатов А.И., Максумова А.М., Палчаев Д.К. и др. // Журн. прикл. химии. 2021. Т. 94. № 7. С. 835. https://doi.org/10.31857/S0044461821070045
- 46. Абдулагатов А.И., Максумова А.М., Палчаев Д.К. и др. // Журн. общей химии. 2022. Т. 92. № 8. С. 1310. https://doi.org/10.31857/S0044460X22080182
- 47. Максумова А.М., Абдулагатов И.М., Палчаев Д.К. и др. // Журн. физ. химии. 2022. Т. 96. № 10. С. 1490. https://doi.org/10.31857/S0044453722100181
- 48. Максумова А.М., Бодалёв И.С., Сулейманов С.И. и др. // Неорган. материалы. 2023. Т. 59. № 4. С. 384. https://doi.org/10.31857/S0002337X2304005X
- 49. Абдулагатов А.И., Ашурбекова К.Н., Ашурбекова К.Н. и др. // Журн. прикл. химии. 2018. Т. 91. № 3. С. 305.
- 50. Ashurbekova K., Abdulagatov I., Abdulagatov A. et al. // Chem. Commun. 2020. V. 56. № 62. P. 8778. https://doi.org/10.1039/d0cc04195e
- 51. Амашаев Р.Р., Абдулагатов И.М., Рабаданов М.Х., Абдулагатов А.И. // Журн. физ. химии. 2021. Т. 95. № 7. С. 1078. https://doi.org/10.31857/S0044453721070049
- 52. Ashurbekova K., Ashurbekova K., Saric I. et al. // Chem. Commun. 2021. V. 57. № 17. P. 2160. https://doi.org/10.1039/d0cc07858a
- 53. Амашаев Р.Р., Абдулагатов А.И., Абдулагатов И.М., Рабаданов М.Х. Пат. RU 2749573 C9. Опубл. 15.06.2021. Способ получения тонких пленок карбида кремния на кремнии пиролизом полимерных пленок, полученных методом молекулярно-слоевого осаждения.
- 54. Амашаев Р.Р., Абдулагатов А.И., Абдулагатов И.М. Пат. RU 2784496 C1. Опубл. 28.11.2022. Способ формирования пленок карбида вольфрама на гетероструктуре вольфрам-кремний пиролизом пленки полиамида, полученного методом молекулярно-слоевого осаждения.
- 55. Максумова А.М., Максумова И.М., Абдулагатов И.М., Абдулагатов А.И. Пат. RU 2802043 C1. Опубл. 22.08.2023. Способ получения нанопленок диоксида титана, легированного молибденом, с использованием технологии атомно-слоевого осаждения.
- 56. Ежовский Ю.К. // Неорган. материалы. 2019. Т. 55. № 2. С. 117. https://doi.org/10.1134/S0002337X19020039
- 57. Оленин А.Ю., Лисичкин Г.В. // Журн. общей химии. 2019. Т. 89. № 7. С. 1101. https://doi.org/10.1134/S0044460X19070163
- 58. Лисичкин Г.В., Оленин А.Ю. // Журн. прикл. химии. 2020. Т. 93. № 1. С. 5. https://doi.org/10.31857/S0044461820010016
- 59. Лисичкин Г.В., Оленин А.Ю., Кулакова П.И. Химия поверхности неорганических наночастиц. М.: Техносфера, 2020. 380 с.
- 60. Лисичкин Г.В., Оленин А.Ю. // Журн. общей химии. 2021. Т. 91. № 5. С. 794. https://doi.org/10.31857/S0044460X21050188
- 61. Лисичкин Г.В., Оленин А.Ю. // Изв. АН. Сер. хим. 2020. № 10. С. 1819.
- 62. Оленин А.Ю., Коротков А.С., Ягов В.В., Лисичкин Г.В. // Журн. физ. химии. 2021. Т. 95. № 1. С. 107. https://doi.org/10.31857/S0044453721010210
- 63. Кулакова И.И., Лисичкин Г.В. // Журн. общей химии. 2020. Т. 90. № 10. С. 1601. https://doi.org/10.31857/S0044460X20100157
- 64. Кулакова И.И., Лисичкин Г.В. // Вестн. Моск. ун-та. Сер. 2. Химия. 2022. Т. 63. № 6. С. 375.
- 65. Кулакова И.И., Переяславцев А.Ю., Лисичкин Г.В. // Вестн. Моск. ун-та. Сер. 2. Химия. 2019. Т. 60. № 5. С. 325.
- 66. Кулакова И.И., Лисичкин Г.В., Яковлев Р.Ю. Химическое модифицирование поверхности детонационного наноалмаза. М.: МГУ им. М.В. Ломоносова, 2019. 94 с.
- 67. Яковлев Р.Ю., Мингалев П.Г., Леонидов Н.Б., Лисичкин Г.В. // Химико-фармацевт. журнал. 2020. Т. 54. № 4. С. 29. https://doi.org/10.30906/0023-1134-2020-54-4-29-44
- 68. Badun G.A., Chernysheva M.G., Gus’kov A.V. et al. // Fullerenes Nanotubes and Carbon Nanostructures. 2020. V. 28. № 5. P. 361. https://doi.org/10.1080/1536383X.2019.1685982
- 69. Соснов Е.А., Малков А.А., Малыгин А.А. // Журн. прикл. химии. 2021. Т. 94. № 9. С. 1104. https://doi.org/10.31857/S0044461821090024
- 70. Tolstoy V., Kaneva M., Fedotova N., Levshakova A. // Ceram. Int. 2020. V. 46. № 12. P. 20122. https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2020.05.087
- 71. Tolstoy V.P., Kaneva M.V., Lobinsky A.A., Koroleva A.V. // J. Alloys Compd. 2020. V. 834. P. 155205. https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2020.155205
- 72. Kaneva M.V., Reveguk A.A., Tolstoy V.P. // Ceram. Int. 2022. V. 48. № 8. P. 11672. https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2022.01.025
- 73. Толстой В.П., Гулина Л.Б., Мелешко А.А. // Успехи химии. 2023. Т. 92. № 3. RCR5071. https://doi.org/10.57634/RCR5071
- 74. Громов В.К. Введение в эллипсометрию. Л.: Изд-во ЛУ, 1986. 192 с.
- 75. Tolstoy V.P., Chernyshova I.V., Skryshevsky V.A. Handbook of infrared spectroscopy of ultrathin films. John Wiley & Sons, 2003. 733 p.
- 76. Толстой В.П. Введение в оптическую абсорбционную спектроскопию наноразмерных материалов. СПб.: СОЛО, 2014. 187 с.
- 77. Соснов Е.А., Кочеткова А.С. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2019. № 5. С. 3. https://doi.org/10.1134/S0207352819010189
- 78. Соснов Е.А., Трубина Т.С., Курдюков Д.А., Малыгин А.А. // Физика и химия стекла. 2019. Т. 45. № 5. С. 458. https://doi.org/10.1134/S0132665119050123
- 79. Sosnov E.A., Tsipanova A.S. // Adv. Mater. Sci. Res. 2023. V. 63. P. 119.
- 80. Sosnov E.A., Malkov A.A. // Opt. Spectrosc.: Technology, Properties and Performance / Ed. Tomozeiu N. N.Y.: Nova Science Publishers, 2014. P. 149.
- 81. Малыгин А.А. // Наноматериалы: свойства и перспективные приложения / Отв. ред. А.Б. Ярославцев. М.: Научный мир, 2015. С. 84.
- 82. Zemtsova E.G., Arbenin A.Y., Valiev R.Z., Smirnov V.M. // Titanium in Medical and Dental Applications. Kidlington, UK: Woodhead Publ., 2018. P. 115.
- 83. Абдулагатов А.И., Абдулагатов И.М., Абдуллаев Г.О. и др. Нанотехнологии и перспективные наноматериалы. Махачкала: Дагестанский ГУ, 2019. 474 с.
- 84. Анализ рынка установок атомно-слоевого осаждения в России. М.: Discovery Research Group, 2018. 46 c.
- 85. Atomic Layer Deposition (ALD): Market Size & Forecast Report. 2014–2025. N.Y.: Million Insights Inc., 2017. 92 p.
- 86. Atomic Layer Deposition Equipment (ALD) Market: Global Industry Analysis, Growth, Share, Size, Trends, and Forecast. 2023–2031. N.Y.: Growth Market Reports, 2023. 184 p.
- 87. Atomic Layer Deposition (ALD). N.Y.: Global Industry Analysts, 2023. 78 p.
- 88. Atomic Layer Deposition (ALD) Equipment Market: Global Forecast and Analysis (2023–2029). P. 35272. Maximize Market Research Pvt. Ltd., 2023. 230 p.
- 89. Atomic Layer Deposition Equipment Market Outlook (2022–2032). Future Market Insights, 2023. 300 p.
- 90. Ritala M., Niinistö J. // ECS Trans. 2009. V. 25. № 8. P. 641. https://doi.org/10.1149/1.3207651
- 91. Oviroh P.O., Akbarzadeh R., Pan D. et al. // Sci. Technol. Adv. Mater. 2019. V. 20. № 1. P. 465. https://doi.org/10.1080/14686996.2019.1599694
- 92. Ahn J., Ahn C., Jeon S., Park J. // Appl. Sci. 2019. V. 9. № 10. P. 1990. https://doi.org/10.3390/app9101990
- 93. Ashurbekova K., Ashurbekova K., Botta G. et al. // Nanotechnology. 2020. V. 31. № 34. P. 342001. https://doi.org/10.1088/1361-6528/ab8edb
- 94. Mattinen M., Leskelä M., Ritala M. // Adv. Mater. Interfaces. 2021. V. 8. № 6. P. 2001677. https://doi.org/10.1002/admi.202001677
- 95. Fonseca J., Lu J. // ACS Catalysis. 2021. V. 11. № 12. P. 7018. https://doi.org/10.1021/acscatal.1c01200
- 96. Xu H., Akbari M.K., Kumar S. et al. // Sens. Actuators, B. 2021. V. 331. P. 129403. https://doi.org/10.1016/j.snb.2020.129403
- 97. Zhang J., Li Y., Cao K., Chen R. // Nanomanufacturing and Metrology. 2022. V. 5. № 3. P. 191. https://doi.org/10.1007/s41871-022-00136-8
- 98. Robertson J. // Rep. Prog. Phys. 2005. V. 69. № 2. P. 327. https://doi.org/10.1088/0034-4885/69/2/r02
- 99. Kittl J.A., Opsomer K., Popovici M. et al. // Microelectron. Eng. 2009. V. 86. № 7–9. P. 1789. https://doi.org/10.1016/j.mee.2009.03.045
- 100. Перевалов Т.В., Гриценко В.А. // Успехи физ. наук. 2010. Т. 180. № 6. С. 587.
- 101. Chernikova A., Kozodaev M., Markeev A. et al. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2016. V. 8. № 11. P. 7232. https://doi.org/10.1021/acsami.5b11653
- 102. Батурин А.С., Булах К.В., Григал И.П. и др. // Нано- и микросистемная техника. 2013. № 6 (155). С. 13.
- 103. Alekhin A.P., Chouprik A.A., Gudkova S.A. et al. // J. Vac. Sci. Technol., B. 2011. V. 29. № 1. P. 01A302. https://doi.org/10.1116/1.3533763
- 104. Alekhin A.P., Chouprik A.A., Grigal I.P. et al. // Thin Solid Films. 2012. V. 520. № 14. P. 4547. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2011.10.186
- 105. Chernikova A.G., Kozodaev M.G., Khakimov R.R. et al. // Appl. Phys. Lett. 2020. V. 117. № 19. P. 192902. https://doi.org/10.1063/5.0022118
- 106. Romanov R.I., Kozodaev M.G., Myakota D.I. et al. // ACS Appl. Nano Mater. 2019. V. 2. № 12. P. 7521. https://doi.org/10.1021/acsanm.9b01539
- 107. Markeev A.M., Kozodaev M.G., Slavich A.S. et al. // J. Phys. Chem. C. 2020. V. 124. № 51. P. 28169. https://doi.org/10.1021/acs.jpcc.0c09769
- 108. Romanov R.I., Kozodaev M.G., Lebedinskii Y.Y. et al. // J. Phys. Chem. C. 2020. V. 124. № 33. P. 18156. https://doi.org/10.1021/acs.jpcc.0c05446
- 109. Gismatulin A., Gritsenko V., Perevalov T. et al. // Phys. Status Solidi B. 2021. V. 258. № 3. P. 2000432. https://doi.org/10.1002/pssb.202000432
- 110. Королева А.А., Козодаев М.Г., Маркеев А.М. // Наноиндустрия. 2021. Т. 14. № S7 (107). С. 680. https://doi.org/10.22184/1993-8578.2021.14.7s.680.682
- 111. Mikheev V., Chouprik A., Lebedinskii Y. et al. // ACS Appl. Mater. Interfaces. 2019. V. 11. № 35. P. 32108. https://doi.org/10.1021/acsami.9b08189
- 112. Mikheev V., Chouprik A., Lebedinskii Y. et al. // Nanotechnology. 2020. V. 31. № 21. P. 215205. https://doi.org/10.1088/1361-6528/ab746d
- 113. Koroleva A.A., Kuzmichev D.S., Kozodaev M.G. et al. // Appl. Phys. Lett. 2023. V. 122. № 2. P. 022905. https://doi.org/10.1063/5.0138218
- 114. Алехин А.П., Батурин А.С., Григал И.П. и др. Пат. RU 2472254 C1. Опубл. 10.01.2013. Мемристор на основе смешанного оксида металлов.
- 115. Лебединский Ю.Ю., Зенкевич А.В., Маркеев А.М., Егоров К.В. Пат. RU 2524415 C1. Опубл. 27.07.2014. Мемристор на основе смешанного оксида металлов.
- 116. Kuzmichev D.S., Chernikova A.G., Kozodaev M.G., Markeev A.M. // Phys. Status Solidi. A. 2020. V. 217. № 18. P. 1900952. https://doi.org/10.1002/pssa.201900952
- 117. Koroleva A.A., Kozodaev M.G., Lebedinskii Y.Y., Markeev A.M. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2021. V. 54. № 50. P. 504004. https://doi.org/10.1088/1361-6463/ac26f6
- 118. Барган В.А., Барган П.А., Халявин А.Б. и др. Пат. RU 2444078 C1. Опубл. 27.02.2012. Способ изготовления слоистой наноструктуры для двухобкладочных конденсаторов.
- 119. Маркеев А.М., Черникова А.Г. Пат. RU 2528010 C2. Опубл. 10.09.2014. Твердотельный суперконденсатор на основе многокомпонентных оксидов.
- 120. Малыгин А.А., Антипов В.В., Малков А.А. и др. Пат. RU 2572816 C2. Опубл. 20.01.2016. Многослойный нанокомпозит для двухобкладочных конденсаторов и способ его изготовления.
- 121. Козодаев М.Г., Маркеев А.М., Черникова А.Г. и др. Пат. RU 2609591 C1. Опубл. 02.02.2017. Способ изготовления сегнетоэлектрического конденсатора.
- 122. Malygin A.A., Malkov A.A., Mikhaylovskiy S.V. et al. // Membranes for Membrane Reactors: Preparation, Optimization and Selection / Eds. Basile A., Gallucci F. Chichester: John Wiley & Sons Ltd., 2011. P. 357.
- 123. Жиляева Н.А., Ермилова М.М., Орехова Н.В. и др. // Неорган. материалы. 2018. Т. 54. № 11. С. 1202. https://doi.org/10.1134/S0002337X18110167
- 124. Жиляева Н.А., Елизарова В.И., Миронова Е.Ю. и др. // Журн. неорган. химии. 2023. Т. 68. № 1. С. 96. https://doi.org/10.31857/S0044457X22600918
- 125. Mokrushin A.S., Simonenko E.P., Simonenko N.P. et al. // Appl. Surf. Sci. 2019. V. 463. P. 197. https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2018.08.208
- 126. Gorokh G., Bogomazova N., Taleb A. et al. // Sensors. 2021. V. 21. № 12. P. 4169. https://doi.org/10.3390/s21124169
- 127. Толстой В.П., Голубева А.А., Коломина Е.О. и др. // Журн. аналит. химии. 2022. Т. 77. № 3. С. 201. https://doi.org/10.31857/S0044450222030112
- 128. Arbenin A.Y., Zemtsova E.G., Ermakov S.S. et al. // Mater. Res. Express. 2020. V. 7. № 3. P. 035401. https://doi.org/10.1088/2053-1591/ab77ef
- 129. Arbenin A.Yu., Petrov A.A., Nazarov D.V. et al. // Chemosensors. 2022. V. 10. № 10. P. 433. https://doi.org/10.3390/chemosensors10100433
- 130. Малыгин А.А., Антипов В.В., Буймистрюк Г.Я. Пат. RU 153476 U1. Опубл. 20.07.2015. Устройство молекулярного наслаивания титаноксидных нанопокрытий на поверхность оптических кварцевых волокон.
- 131. Малыгин А.А., Антипов В.В., Кочеткова А.С., Буймистрюк Г.Я. // Журн. прикл. химии. 2018. Т. 91. № 1. С. 17.
- 132. Ежовский Ю.К. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2021. № 3. С. 66. https://doi.org/10.31857/S1028096021020047
- 133. Марков Л.К., Павлюченко А.С., Смирнова И.П. и др. // Физика и техника полупроводников. 2021. Т. 55. № 4. С. 365. https://doi.org/10.21883/FTP.2021.04.50742.9574
- 134. Марков Л.К., Павлюченко А.С., Смирнова И.П. и др. // Физика и техника полупроводников. 2022. Т. 56. № 8. С. 825. https://doi.org/10.21883/FTP.2022.08.53153.9856
- 135. Кочеткова А.С., Соснов Е.А., Малков А.А. и др. // Журн. прикл. химии. 2019. Т. 92. № 7. С. 827. https://doi.org/10.1134/S0044461819070028
- 136. Абдулагатов А.И., Амашаев Р.Р., Ашурбекова К.Н. и др. // Микроэлектроника. 2019. Т. 48. № 1. С. 3. https://doi.org/10.1134/S0544126919010022
- 137. Тетюхин Д.В., Козлов Е.Н., Молчанов С.А. и др. Пат. RU 2554819 C1. Опубл. 27.06.2015. Способ получения биоактивного покрытия на имплантируемом в костную ткань человека титановом имплантате.
- 138. Тетюхин Д.В., Козлов Е.Н., Молчанов С.А. и др. Пат. RU 2566060 C1. Опубл. 20.10.2015. Биоактивное покрытие титанового имплантата, вводимого в костную ткань человека.
- 139. Земцова Е.Г., Морозов П.Е., Смирнов В.М. // Физика и механика материалов. 2015. Т. 24. № 4. С. 374.
- 140. Nazarov D.V., Smirnov V.M., Zemtsova E.G. et al. // ACS Biomater. Sci. Eng. 2018. V. 4. № 9. P. 3268. https://doi.org/10.1021/acsbiomaterials.8b00342
- 141. Мелешко А.А., Толстой В.П., Афиногенов Г.Е. и др. // Ортопедия, травматология и восстановительная хирургия детского возраста. 2020. Т. 8. № 2. С. 217. https://doi.org/10.17816/PTORS33824
- 142. Земцова Е.Г., Морозов П.Е., Смирнов В.М. Пат. RU 2694963 C1. Опубл. 18.07.2019. Способ получения композиционного нанопокрытия на наноструктурированном титане.
- 143. Абдулагатов A.И., Амашаев Р.Р., Максумова A.M. и др. // Экологическая медицина. 2019. Т. 2. № 1. С. 96. https://doi.org/10.34662/EM.2019.2.1.96-106
- 144. Рагимов Р.М., Маммаев С.Н., Хамидов М.А. и др. Пат. RU 2756124 C1. Опубл. 28.09.2021. Способ улучшения функциональных свойств сетчатых имплантов для пластики грыжевых дефектов.
- 145. Рагимов Р.М., Абдулагатов И.М., Абдуллаева Н.М. и др. Пат. RU 2791214 C1. Опубл. 06.03.2023. Способ придания антибактериальных свойств дверным ручкам.
- 146. Ященко П.Ю., Бодалев И.С., Малков А.А. // Изв. СПбГТИ(ТУ). 2021. № 58 (84). С. 38. https://doi.org/10.36807/1998-9849-2021-58-84-38-45
- 147. Абдулагатов А.И., Ашурбекова Кр.Н., Ашурбекова Ка.Н. и др. // Журн. прикл. химии. 2018. Т. 91. № 3. С. 305.
- 148. Ashurbekova K., Ashurbekova K., Saric I. et al. // Chem. Mater. 2021. V. 33. № 3. P. 1022. https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.0c04408
- 149. Кочеткова А.С., Ефимов Н.Ю., Соснов Е.А., Малыгин А.А. // Журн. прикл. химии. 2015. Т. 88. № 1. С. 116.
- 150. Новожилова Е.А., Малыгин А.А., Рычков А.А., Кузнецов А.Е. // Журн. прикл. химии. 2021. Т. 94. № 6. С. 767. https://doi.org/10.31857/S0044461821060116
- 151. Ципанова А.С., Соснов Е.А., Кузнецов А.Е. и др. // Журн. общей химии. 2021. Т. 91. № 6. С. 966. https://doi.org/10.31857/S0044460X21060147
- 152. Рычков А.А., Рычков Д.А., Кузнецов А.Е. и др. Пат. RU 2523337 C1. Опубл. 20.07.2014. Способ изготовления пленочного электрета.
- 153. Рычков А.А., Кузнецов А.Е., Рычков Д.А. и др. Пат. RU 2528618 C1. Опубл. 20.09.2014. Способ изготовления пленочного электрета.
- 154. Кочеткова А.С., Соснов Е.А., Ефимов Н.Ю. и др. Пат. RU 2648360 C1. Опубл. 26.03.2018. Электретный материал на основе полиэтилена и способ его изготовления.
- 155. Новожилова Е.А., Малыгин А.А., Рычков А.А., Кузнецов А.Е. Пат. RU 2748032 C1. Опубл. 19.05.2021. Способ изготовления электретного материала на основе фторполимера.
- 156. Захарова Н.В., Малыгин А.А., Аккулева К.Т. Пат. RU 2798829 C2. Опубл. 28.06.2023. Способ контроля сроков хранения продукции.
- 157. Дрозд В.Е. Синтез и исследование оксидных покрытий, полученных методом молекулярного наслаивания на поверхности полупроводников: Дис. … канд. физ.-мат. наук. Л., 1978. 131 с.
- 158. Толстой В.П., Кукло Л.И. Пат. RU 2774818 C1. Опубл. 23.06.2022. Устройство для послойного синтеза покрытий из труднорастворимых соединений на поверхности подложек.